피아이, 소형 초음파 피에조 포지셔닝 시스템
  • 박규찬 기자
  • 승인 2018.12.11 19:11
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피아이가 소형 초음파 피에조 포지셔닝 시스템을 선보였다.

자체 잠금 및 기계적으로 위치를 안정적으로 유지

[인더스트리뉴스 박규찬 기자] 피아이(PI)는 초음파 피에조 드라이브를 이용한 새로운 포지셔닝 스테이지를 선보이며 PILine 시리즈를 확장했다고 밝혔다.

피아이의 U-523(사진 왼쪽)과 U-723 제품 [사진=피아이]
피아이의 U-523(사진 왼쪽)과 U-723 제품 [사진=피아이]

U-523은 폭 42mm, 높이 14mm의 리니어 스테이지이며 U-723은 폭 42mm, 높이 21mm의 XY 스테이지다. 크기가 작아 설치 공간이 협소할 때 유용하며 설치 및 정렬을 위한 기계적 노력과 비용을 줄일 수 있다. 

특히 2N의 구동력, 22mm의 변위, 200mm/s 속도로 최대 5N의 하중을 폐 루프(Closed-Loop)에서 정밀 포지셔닝을 할 수 있다. 분해능은 0.1μm로 비접촉식 광학 리니어 인코더는 플랫폼에서 위치를 직접 감지하며 측정은 비선형성, 기계적 유격, 탄성 변형에 영향을 받지 않는다.

또한 초음파 피에조 모터의 원리를 통해 드라이브가 꺼졌을 때 자체 잠금이 된다. 따라서 전력 소모 및 발열이 없으며 기계적으로 위치를 안정적으로 유지한다. 이는 배터리 전원 또는 열에 민감한 낮은 듀티사이클의 애플리케이션에 큰 장점이다.

한편 C-867 시리즈의 모션 컨트롤러는 새로운 PILine 포지셔닝 스테이지를 제어하는 데 사용된다.


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