휴모트인터내셔널, 클린룸 청정도 높인다… 표면 입자 모니터 ‘파트센스 4.0’ 공급
  • 정한교 기자
  • 승인 2022.06.28 16:05
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실용적이고 간편하며 정확한 표면 청정도 모니터링 제공

[인더스트리뉴스 정한교 기자] 국내 클린룸 시장을 한층 더 청정공간으로 변모시킬 신규 솔루션이 모습을 드러냈다. 휴모트인터내셔널(대표 김재현)은 온사이트 표면 입자 모니터 ‘파트센스 4.0(Part Sense 4.0)’을 국내에 처음으로 공급한다고 28일 밝혔다.

휴모트인터내셔널이 유럽 최대 응용과학연구소인 독일 연구기구 ‘프라운호퍼’가 개발한 온사이트 표면 입자 모니터 ‘파트센스 4.0’을 국내에 처음으로 공급한다. [사진=휴모트인터내셔널]

파트센스 4.0은 부착된 입자의 수와 크기를 10초 내에 측정하는 현장 표면 입자 모니터다. 탈의실, 에어 샤워 부스, 바닥, 벽, 천장, 시스템 및 클린룸 의류와 같은 깨끗한 환경을 요구하는 공간에서 거의 모든 표면의 청소 효율성 평가에 이상적인 제품으로 주목받고 있다.

그동안의 클린룸은 5µm 이하의 작은 입자를 제거하는데 주목해왔다. 이를 위해 부유입자 측정기와 현미경을 사용해 표면 청정도 수준을 평가했다. 기본적으로 부유입자 측정기의 작동원리는 공기를 진공청소기처럼 흡입해 부유입자를 감지하고, 헤파필터(Hepa Filter)로 부유입자를 걸러낸다. 공기 중 0.3µm 크기 입자를 99.97% 이상 제거할 수 있기 때문에 무균실, 의학실험실에서 사용되는 것이 일반적이다.

그러나 이러한 미세입자 제거 방식은 5µm 이상의 거대 입자는 잘 제거되지 않는 경우가 많았고, 모니터링하는데도 실용적이지 않았다. 또한, 현미경을 사용한 표면 청정도 수준 평가는 샘플의 교차 오염 가능성이 존재한다. 이러한 최근의 클린룸은 100μm보다 작은 입자를 제어해야하기에 오염 물질을 시각화하기 위해 클린룸 손전등을 사용하는 것도 불가능하다.

파트센스 4.0은 넓은 터치스크린으로 탐색이 간편하고, 측정 헤드와 베이스 유닛 사이의 무선 데이터 전송으로 모바일 애플리케이션이 향상된다. [사진=휴모트인터내셔널]

파트센스 4.0은 기존의 클린룸으로는 제거하기 힘든 5µm 이상의 거대 입자를 모니터링할 수 있는 최적의 제품이다. 유럽 최대 응용과학연구소인 독일 연구기구 ‘프라운호퍼(Fraunhofer)’가 개발한 감시기기로, 표면오염이 주는 입자오염의 리스크를 모니터링한다.

이에 대해 휴모트인터내셔널 관계자는 “접착 패드로 인해 검사 대상의 표면에 어떠한 크기들의 입자가 존재하는지 간단하게 확인할 수 있다”며, “유럽, 일본 등 미세입자 제거에 주력해왔던 선진국들이 그동안 등한시했던 거대 입자 제거에 주목하는 추세로, 파트센스 4.0이 영향력을 넓혀가고 있다”고 밝혔다.

파트센스 4.0은 넓은 터치스크린으로 탐색이 간편하고, 측정 헤드와 베이스 유닛 사이의 무선 데이터 전송으로 모바일 애플리케이션이 향상된다. 또한, 금속/비금속 입자 및 섬유의 세 가지 범주로 분류되는 분류 기능이 있어 LCD, 반도체, 배터리, 필름 등 다양한 제조공정에서 활용이 용이하다.

휴모트인터내셔널 관계자는 “파트센스 4.0은 깨끗한 환경에서 입자의 ‘이동’, ‘접촉’, ‘침착’을 방지하기 위한 혁신적인 접근 방식”이라며, “구식 검사 방법을 대체하는 VDA 19.2 ‘Technical cleanliness in assembly’에 등재된 유일한 모니터링 장치”라고 제품을 소개했다.

이어 “ISO14644 시리즈에서도 -5, -9, -13 등에서 ‘제조환경 안의 표면청정도 및 효과가 있는 클리닝의 검증 도구’로 사용이 권장되고 있는 기기 중 하나”라고 덧붙였다.



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