반도체 산업 맞춤 ‘유해화학물질 취급시설’ 기준 마련돼… 15일부터 시행
  • 조창현 기자
  • 승인 2022.12.14 17:44
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생산설비 특성 고려, ‘유·누출 방지’ 관련 실효성 있는 기준 도입

[인더스트리뉴스 조창현 기자] 환경부(장관 한화진)와 화학물질안전원(원장 박봉균)은 반도체 제조설비가 모듈 혹은 완제품 형태로 설치·운영되는 특성을 고려해 기존 취급시설 기준 적용의 어려움을 해소하고, 공정 특성에 맞는 현장 안정성 및 이행력을 높이기 위한 ‘반도체 제조업종 맞춤형 유해화학물질 취급시설 기준’을 마련해 오는 15일부터 시행한다고 밝혔다.

환경부와 화학물질안전원은 반도체 업종 맞춤형 ‘유해화학물질 취급시설’ 기준을 마련하고, 오는 15일부터 시행한다. [사진=utoimage]

새로운 기준의 적용 대상은 통계청이 고시하는 ‘한국표준산업분류’에 따른 전자집적회로 제조업(2611)과 다이오드·트랜지스터 및 유사 반도체소자 제조업(2612)에 해당하는 사업장 내 제조·사용시설 중, ‘유해화학물질’을 취급하는 공급·생산설비다.

이에 앞으로 완제품 형태를 갖춘 생산설비 내 배관은 ‘화학물질관리법’ 기준에 따른 제작요구서를 첨부하고, 국제인증을 받은 설비는 ‘화학물질관리법’ 시설 기준을 준수한 것으로 인정받을 수 있다. 국제인증은 국가인정기구 혹은 상호인정 협정기관에 등록된 기관 등 ‘제3자 인증기관’으로부터 국제반도체장비재료협회(SEMI)에서 제시한 기준 부합 여부를 평가해 인정받을 수 있다.

또한 설비 내 ‘유해화학물질 누출’을 감시 및 차단·처리가 가능한 첨단 안전장치를 갖추고 있다면 기존 취급시설 기준에 따른 안전장치 기준을 충족하는 것으로 취급한다는 내용이 담겨있다. 아울러 안전장치를 갖추고 유해화학물질을 소량취급 하는 설비는 캐비닛 내 밀폐공간을 유해화학물질 소량취급 시설기준에 따른 물리적 분리 공간으로 간주해 ‘소량취급시설’로 관리한다는 내용도 포함된다.

이번에 마련한 기준에 대해 환경부와 화학물질안전원은 지난해 6월부터 학계·검사기관 및 기업을 아우르는 전문가들과 함께 ‘기술적 검토’를 진행했고, 위험요소 확인을 위한 현장조사에 더불어 노동계·시민단체 등 다양한 이해관계자들의 자문과 의견수렴을 거쳤다.

환경부 이형섭 화학안전과장은 “업종마다 시설 특성이 다름에도 불구하고, 그동안 화학물질관리법으로 모든 산업에 공통 적용되는 기준을 운영해왔다”라며, “앞으로도 현장여건에 맞춰 안전은 확실히 담보하면서 실효성 있는 제도로 정착할 수 있도록 노력하겠다”라고 전했다.

환경부는 다음해 상반기 중, 각 업계를 대상으로 맞춤형 기준 필요 업종 및 취급공정 관련 ‘수요조사’를 실시할 계획이다. 또, 현장조사 및 전문가 검토 등을 거쳐 기준 마련의 필요성이 인정될 경우에는 맞춤형 기준을 확대해 ‘화학물질관리법’의 현장 이행력을 높일 방침이다. 한편, 환경부와 화학물질안전원은 지난해 3월 격자형 발판, 이동식 집수시설 등 작업 특성을 고려한 표면처리·염색 업종에 대한 ‘맞춤형 취급시설 기준’을 마련한 바 있다.


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