지식경제부 기술표준원은 반도체생산 세계 3위 국가의 위상에 걸맞은 반도체 제조장비의 안전성 확보를 위해, ‘반도체 제조장비의 안전지침’에 대한 국가표준안을 마련하고, 지난 7월 9일 KS 공청회를 개최했다고 밝혔다.
지난해 말 반도체 제조장비의 안전에 관한 국제표준(IEC)이 제정됨에 따라 조기 국가표준의 도입을 위해 산·학·연의 관련전문가로 구성된 ‘표준전문위원회’는 심도 있는 검토를 거쳐 지난 6월 23일부로 KS제정 예고를 고시한 바 있다.
현재, 국내 반도체 제조를 위한 관련장비 중 주로 핵심장비는 외국 수입 비중이 높고 후공정 및 테스트장비 위주로 국내 장비업체에게 생산하고 있는 실정이며, 제조장비의 안전성 확보를 위해 노동부의 안전인증(S-마크)과 세계반도체장비재료협회(SEMI)의 단체표준, 유럽표준 등을 인용하면서 조금씩 다른 표준이 적용돼 왔다.
제정 예정인 ‘반도체 제조장비의 안전지침’은 IEC에서 제시하는 반도체 제조장비가 갖춰야 할 전기적 안전 요구사항뿐만 아니라, 반도체 제조장비의 특성에 따른 위험(화학물질, 전리방사선 등)의 주요내용을 포괄적으로 규정하고 있어 반도체 제조장비의 종합적인 안전요구사항으로 활용될 수 있을 것이다.
제조장비의 전기적 안전 요구사항은 비상차단(EMO), 연동회로(인터록) 등 IEC의 주요 내용과 일치하도록 했으며, 반도체 제조장비에 사용되는 화학물질의 안전관리 요구사항, 전리 및 비전리 방사선에 대한 한계기준 등을 추가해 제시함으로써, 장비업체들이 보다 안전한 장비의 설계·제작을 유도하고 있다.
기술표준원은 이번 KS 공청회를 통해 관련 산업계 등 전문가의 의견을 폭넓게 수렴해 8월말 국가표준으로 제정할 계획이다.
