완전 자동 웨이퍼 검사, 시험 & 분류 시스템

ASM solarWIS

완전 자동 웨이퍼 검사, 시험 & 분류 시스템

편집자 주

ASM solarWIS는 태양광 웨이퍼 제조에 사용하기에 적합한 완전 자동 검사, 시험, 분류 시스템이다. 이 설비는 시각적, 전기적 특성에 따라 양질의 웨이퍼와 나쁜 품질의 웨이퍼를 구분해 각각 다른 용기에 투입한다.

ASM solarWIS는 개별적인 웨이퍼 혹은 전지 제조업체들의 검사, 시험, 분류 요건에 맞추기 위해 다음의 방식으로 구성되어 있다.

- 얼룩 검사

- 2D 구조 검사

- 말단 및 측면 칩에 대한 2.5D 검사

- TTV, 매듭, 뒤틀림 & 톱날 표시에 대한 3D 검사 - 슬러리 & 다이아몬드 와이어 절단 가능

- μCrack, 핀홀(미세구멍), 준단 비율 검사

- 3 탐침 저항률, P/N 및 선택적 수명 모듈

- 입력 : 하이브리드 혹은 스택 로드

- 출력 : 설정 가능한 용기. 표준 : 12 + 1 재시험 용기

ASM solarWIS는 경쟁업체들과 차별화되는 부가가치 제품을 제공한다.

예컨대, ASM은 TTV, 톱날 표시, 구부림, 뒤틀림을 검사하는 탁월한 3D 검사 시스템을 제공한다. 현재 3개의 레이저 선을 이용한 방법이 태양광 웨이퍼의 톱날 표시 검사에 사용되는 일반적인 방법이다. 용량 탐지를 사용하는 5포인트 측정이 일괄 생산에서 웨이퍼 TTV 측정에 일반적으로 사용되기도 한다.

그러나 이 두 가지의 방법은 선택적으로 각 부분에 대한 데이터를 공급하기 때문에 일정한 한계를 갖고 있다.

톱날 표시 깊이 정보는 3개의 레이저 선 안에서만 정확하게 얻어진다. TTV 데이터는 5개 지점의 조사를 통해서만 이용 가능하다. 그러나 가장 깊은 얇은 부분과 두꺼운 부분은 레이저나 조사에 의해 포착되지 않는 부위에 있을 수도 있다. 표면에 ‘톱날 자국’이 너무 많은 다이아몬드 와이어 절단 웨이퍼의 경우에 이 문제가 두드러지게 발생한다. 이러한 웨이퍼 탐지 실패는 전지 제조 공정 중에 문제를 야기할 수가 있다.

ASM 3D 검사 모듈은 부위 중심의 검사를 활용한다. 이는 웨이퍼 면적을 커버하는 데이터 지점을 갖는다. 그 결과 웨이퍼 표면과 관련된 문제들, 톱날 표시, TTV, 구부러짐, 뒤틀림이 정확하게 탐지된다. 이것은 분명 확실한 웨이퍼 품질 관리 방법이다.

웨이퍼 선별기 사용자들이 수동으로 얼룩과 칩 거부를 검사하고 선별하는 데는 많은 노동력이 요구된다. 특히 다결정 웨이퍼의 경우에는 그러하다.

ASM 얼룩과 2.5D 검사 모듈은 이러한 현상을 취급하고, 변화를 주기 위해 설계되었다. 이를 통해 조작자들의 인건비를 감소해 결국 고객에게 비용 감소 효과를 가져오게 된다.

조명 하드웨어와 소프트웨어 인텔리전스의 결합으로 다결정 웨이퍼에서 보이는 입자와 경계면을 완만하게 만들 수 있다.

이로 인해 탐지 한계치가 확장되고, 얼룩 탐지 정확성이 훨씬 향상된다.

측면 및 말단 칩을 위한 전통적인 솔루션은 전체 웨이퍼 이미지를 포착하는 카메라를 갖는다. 이것은 해상도 제한, 위치 민감성, 빛 반사각도 때문에 오 경보 발생률을 높인다.

2.5D 측면과 말단 칩 검사는 말단과 측면에서 발생하는 칩을 정확하게 탐지하는 진정한 해결책이다. 이것은 말단과 측면의 이미지를 포착하는 4개의 카메라로 구성되어 있다. 이것은 10um의 해상도로 된 표준 구성이다. 더 세밀한 해상도 또한 가능하다.

ASM solarWIS는 변화하는 웨이퍼 기술에 맞는 부가가치 기능들을 제공한다. μCrack 모듈은 다결정 웨이퍼에서 μCrack 탐지 한계치를 확장하는 이미지 확산 기술을 제공할 뿐만 아니라 이제는 핀 홀을 탐지하고, 준 모노 웨이퍼/캐스트 모노 웨이퍼의 모노 부분 비율도 계산할 수 있다. 뿐만 아니라 ASM solarWIS는 준 모노 웨이퍼/캐스트 모노 웨이퍼의 시험 부위 영역을 상당히 확장하는 3탐지 저항률 테스트기를 출시했다. 일부의 경우에는 준 모노 웨이퍼/캐스트 모노 웨이퍼의 단결정 부위와 다결정 부위에서 상당한 저항률 차이가 있을 수 있다고 알려져 있다.

ASM solarWIS는 지속적으로 부가가치를 높이고 있으며, 고객들의 의견을 수용해 궁극적으로 제조 원가를 낮출 수 있는 방법을 모색하고 있다.

본 기사는 ASM SolarWIS(www.asmpt.com)에서 기고한 것입니다.

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