세미랩코리아, 신뢰 보장하는
비접촉 방식 ‘PhotoLuminescence’ 이미징 시스템
세미랩코리아의 비접촉 방식 Photo Luminescence 이미징 시스템은 AS-Cut 웨이퍼부터 셀 이후 공정까지, 모든 제품들을 빠르고 신뢰성 있게 평가한다. 공급 타입은 인라인과 스탠더드 얼론 모두 가능하다.
주요 특징은 고해상도 이미지 분석을 통해 결정립계 주변 결함 및 격자 불일치를 검출하는 것으로, 웨이퍼 에지와 PL 데이터를 통계적으로 분석해 웨이퍼 품질을 분류할 수 있다. 또한 PL 결과와 동시에 라이프 타임 결과를 도출한다.
검출 가능한 결점 종류로는 격자 불일치, 쪼개짐, 높은 오염 밀도, 높은 결원 밀도가 있으며, 배선 종류에선 분로, 가장자리 절연 결함, 배드 핑거가 있다.
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