폴텍의 에너지분상형 엑스레이 형광성분분석기 엑스칼리버 SDD는 123eV까지 분해능이 가능하며, 어떠한 검출환경에도 적합한 6개의 필터가 장착돼 있다. 경원소 검출기를 사용하고 있으며, 8~16 구(Hole)의 샘플홀더를 가지고 있다.

X-선관에서 발생된 연속 X-선을 미지시료에 조사하게 되면 시료에 존재하는 각 성분은 입사된 X-선에 의해 궤도전자가 이탈한다. 이탈된 빈 공간은 상위궤도로부터 전이해 채워지며, 궤도간 전자전이에 의해 발생한 에너지는 빛의 형태로 발산되는데 이것이 2차 형광 X-선이다. 형광 X-선은 성분별로 고유하게 나타나 어떤 파장 또는 에너지를 가지고 있는지 평가해 특정 성분의 유무를 판단할 수 있다. 엑스레이 형광성분분석기는 이 원리를 이용해 태양광 산업에 사용되는 웨이퍼 등의 정밀한 성분분석 결과를 도출한다.

폴텍은 화합물반도체 및 LED 분야에 적합한 생산장비, 측정장비, 시뮬레이션 소프트웨어, 각종 웨이퍼를 공급하면서 동시에 전 산업 분야에 적용되는 정밀 측정 장비인 XRF, TGA, 경도기 등을 취급하고 있다.

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