미국을 방문 중인 경기도 투자유치 대표단은 현지 시간으로 9월 27일, 일리노이주 오로라에 소재하고 있는 반도체 원판 연마제 제조기업 캐봇 마이크로일렉트로닉스(Cabot Microelectronics)를 방문해 도내 반도체 CMP 공정용 연마제 제조거점 및 연구시설 설립에 대한 투자협약(MOU)을 체결했다.
캐봇 마이크로일렉트로닉스는 반도체 CMP 슬러리(반도체 원판 평탄화 작업용 액체) 및 패드 제조시설과 무기화합물 연구시설을 평택 오성산업단지 내 2,000평 규모로 설립할 계획이다.
캐봇 마이크로일렉트로닉스가 투자하게 되는 반도체 CMP 공정용 소재 시장은 세계 IT산업의 발전에 따라 1994년부터 급성장하고 있는 반도체 공정 분야다.
캐봇 마이크로일렉트로닉스는 CMP 공정용 무기화합물 공급에서 세계 1위 기업이며, 특히 최근 반도체 디자이스의 고집적화에 따라 사용이 확산되고 있는 세리아 연마제 분야에 강점을 갖고 있다.
이번 투자를 통해, 캐봇 마이크로일렉트로닉스는 한국 내 고객사인 삼성전자 및 하이닉스 반도체의 생산 공정에 필요한 신소재 반도체용 무기 화합물을 안정적으로 공급할 수 있는 제조시설을 확보하게 된다.
이 제조시설을 이용한 상호 개발 협력을 통해 국내 고객사에게 최적의 CMP용 세리아 무기 화합물을 공급할 수 있게 된다.
나아가 생산 공정의 미세화와 다층화로 어려움을 겪고 있는 나노급 반도체 제품의 수율과 신뢰성 향상에 기여할 것으로 기대된다.
캐봇 마이크로일렉트로닉스는 반도체 CMP 공정용 무기 화합물 및 패드를 생산하는 기업으로서, 화학 회사인 캐봇의 사업부에서 독립해 2000년 설립된 젊은 기업이다. 현재 전체 직원 925명 가운데 약 25%가 개발인력으로서 새로운 상품 개발을 위한 R&D에 지속적인 투자를 하고 있다.