세계적인 종합 반도체 회사이자 소비가전 및 휴대기기용 MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) 기업인 ST마이크로일렉트로닉스(www.st.com)는 경제적인 가격대의 고성능 센서 소자에 대한 폭발적인 수요를 충족하기 위해 자사의 MEMS 센서 생산량을 2011년말까지 일일 300만개 이상으로 대폭 늘리기로 했다.

ST의 그룹 부사장이자 MEMS/센서/고성능 아날로그 사업부 총괄 책임자인 베네디토 비냐(Benedetto Vigna)는 “ST는 MEMS의 소비가전화 혁명을 주도해왔고, 이러한 시장 주도권을 지속해나갈 것이다. ST는 메디컬, 산업, 자동차 등의 고성장 시장 분야에서도 MEMS의 수요가 늘어날 것에 대비해서 생산력을 강화하고자 한다. 이를 통해 향후 우리 생활의 모든 측면에서 MEMS 센서의 유비쿼터스화를 실현하는데 일조할 것”이라고 말했다.

ST는 2006년에 세계 최초로 8인치 실리콘 웨이퍼로 MEMS 소자를 생산하기 시작했다. 이 같은 시도를 통해 제품의 단가를 크게 낮추고 기존의 MEMS 적용 시장뿐만 아니라 새로운 MEMS 적용 시장을 빠르게 개척할 수 있었다. ST의 MEMS 제품을 생산하는 생산공장은 주로 이탈리아의 아그라테(센서 제조), 프랑스의 루세와 크롤(로직 다이 생산), 몰타의 키르콥(어셈블리 및 테스트)이다.

ST의 MEMS 센서 제품들은 ST가 자체 개발한 선도적인 공정 기술을 통해 제조된다. THELMA(Thick Epi-Poly Layer for Microactuators and Accelerometers) 표면 미세 가공 공정 기술은 구조와 인터커넥션에 가변적으로 두껍고 얇은 다결정 층을 결합한 것으로서 가속도계와 자이로스코프 생산에 이용된다. 단일 칩으로 직선 및 각도 기계 소자들을 통합함으로써 가격과 크기를 크게 줄일 수 있게 됐다. THELMA를 보완하는 VENSENS 공정기술은 단결정 실리콘으로 캐비티(Cavity)을 통합할 수 있으므로 크기와 성능 특성이 뛰어난 초소형 압력 센서를 만들 수 있다.

MEMS 제조사가 MEMS의 수요 증가를 따라잡고 성공을 거두기 위해서는 높은 쓰루풋 처리가 관건이다. ST의 첨단 MEMS 어셈블리-테스트 플랫폼은 대량의 센서 소자를 병렬로 처리할 수 있을 뿐만 아니라 각각의 단일 소자에 대해서 일관되고 반복적으로 정밀한 테스트 자극(Stimuli)을 생성할 수 있으므로 전반적으로 생산성을 크게 향상시킨다.

현재 ST의 MEMS 센서는 스마트폰, 태블릿, 개인 미디어 플레이어, 게임 콘솔, 디지털 스틸 카메라, 리모컨 같은 대중적으로 인기 있는 여러 전자기기에서 모션 작동 사용자 인터페이스를 구현하는데 사용되고 있다. 또한 컴퓨터 회사들은 랩톱 하드 디스크 드라이브의 자유 낙하 보호에 ST의 가속화 센서를 널리 이용하고 있으며, 자동차 부품 회사들은 에어백이나 첨단 내비게이션 시스템 같은 애플리케이션에 ST의 MEMS를 채택하고 있다.

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