기술 국산화와 글로벌 시장개척에 앞장서는 ‘듀라소닉’

고성능 웨이퍼 생산에 적합한 최첨단 초음파 세정 장비 공급

하 상 범 기자

듀라소닉은 1990년 진동자(Bolted Langevin Type Transducers)를 국산화하는 데 성공했다. 이희명 대표는 “듀라소닉은 국산화 이후 기술개발에 매진해 전자 및 기계금속 부품 분야에 적합한 초음파 세정기를 개발해 시장에 선보였고, 카메라 렌즈, LCD, 반도체 웨이퍼, 솔라셀 웨이퍼 분야 초정밀 세정시스템을 전문적으로 제조하는 기업으로 성장해 매출의 60% 이상을 수출하고 있다”고 소개했다. 듀라소닉 초음파 세정 제품의 수출지역은 일본, 북미, 남미, 유럽 등 세계 20여개국으로 각국에서 장비 제작 수준과 기술을 인정받고 있다.

이 대표는 “듀라소닉의 주력 제품인 초음파 세정기는 산업용 부품, 광학용 제품，LCD 글라스，반도체 부품，태양광 웨이퍼까지 적용범위가 넓은 장비”라고 소개했다. 특히, 태양광 웨이퍼 및 사파이어 웨이퍼 세정 장치는 장기근속자들이 중심이 돼 자체개발을 통해 만들어낸 것으로 CE 인증을 획득했으며, 일본 및 국내외에서 높은 평가를 받고 있다. 이 대표는 “초정밀 기술이 요구되기 때문에 중소 규모의 관련업체가 많아도 꾸준히 신규장비를 출시하면서, ‘프리미엄’급 기술력을 과시하는 기업은 많지 않다”고 강조했다.

독보적인 초음파 세정기술이 듀라소닉의 강점

듀라소닉의 강점은 독보적인 초음파 세정기술에 있다. 단순한 국산화에 그치지 않고 꾸준히 기술을 보강해 해외에서 인정받는 기술로 거듭나게 했다. 초음파 세정은 20kHz 이상의 초음파가 가진 특수한 에너지를 동력으로 이용한 세정을 말한다. 액체 중에 초음파를 조사하면 수를 헤아릴 수 없는 미세한 공동이 발생했다가 소멸하는 현상이 초당 25,000~30,000회 정도 나타난다. 이 현상을 캐비테이션(Cavitation)이라고 하는데 세정 과정에서 중요한 역할을 담당하게 된다. 캐비테이션은 기포의 진동에 따라 아주 적은 교반과 기포의 파괴로 인한 화학적, 열적 작용을 수반하게 된다. 이러한 작용의 복합 반복으로 세척액의 화학 반응과 분산작용이 증가해 피세척물 주위에 부착되어 있는 이물질과 작은 구멍, 눈에 보이지 않는 오물 등이 깨끗하게 세척된다.

이 대표는 “초음파 세정의 핵심인 초음파 진동자 기술은 듀라소닉이 최초로 국산화에 성공한 기술”이라고 소개했다. 현재 이 기술을 기초로 개발된 장비들이 일본을 비롯한 전 세계로 수출되고 있다. 이 대표는 “설계에서 제조까지 전 공정을 아우르는 기술을 자체개발해 신뢰도를 높이고 있다”면서, “초음파 유니트에 적용되는 진동조의 균일한 음장 분포 기술, 진동자 및 발진기의 매칭 기술, 내구성 향상 기술 등을 적용해 장비의 기능과 수명을 대폭 향상시켰다”고 말했다.

사용 환경에 따라 최적의 프로그램 제공하는 세정 장비

듀라소닉을 대표하는 태양광 초음파 세정기(Solar Wafer Finer Cleaner)는 ‘잉곳/블록 세정기’, ‘Pre 세정기’, ‘Final 세정기’ 등으로 전 세계에 수출돼 태양광 웨이퍼 생산 현장의 품질향상에 기여하고 있다. 잉곳/블록 세정기는 단결정 혹은 다결정의 실리콘 잉곳 혹은 절단된 Top & Tail을 세척하는 장비다. 156×156㎜에서 최대 500㎜까지 세척할 수 있다. 이 대표는 잉곳/블록 세정기를 도입하게 되면 “전자동 방식으로 대량 세척을 할 수 있으며, 다조식 방식의 여러 단계의 초음파 세척 및 린스공정도 사용할 수 있게 된다”고 설명했다. 이어서 “세척된 잉곳은 열풍건조 방식으로 건조되며, 최적화된 시스템 구성으로 효율적인 세제 및 폐수관리까지 가능해진다”고 소개했다. 사용자를 위한 별도의 인터페이스가 설치돼 사용 환경에 따라 최적의 프로그램으로 변경할 수 있는 것도 잉곳/블록 세정기의 장점이다.

Pre 세정기는 절단과정에서 오염된 잉곳 세척 및 박리 공정을 포함하는 장비다. 단결정 혹은 다결정의 SI 잉곳이 적용 대상이다. 이 대표는 “Pre 세정기는 스프레이 샤워 및 초음파 세척이 적용되며, 건조공정에는 온순수 혹은 약액이 사용된다. 전자동 방식으로 대량의 잉곳을 세척할 수 있으며, 다조식 방식의 노즐샤워, 초음파 세척, 박리공정을 포함하고 있다”고 설명했다. Final 세정기는 Pre 세정을 거친 웨이퍼를 준비된 카세트에 담아 세정, 린스, 건조공정을 진행한다. 156×156㎜ 외 180 Micro 규격의 잉곳 세척에 사용할 수 있으며, 세정에 소요되는 시간은 5분이다. 이 대표는 “세정 과정에서 모든 이송이 별도로 설치된 로봇을 통해 이뤄지며, 옵션으로 Auto Dosing Unit과 안전장치인 Over/Level/Limit Sensor, Interlock을 설치했다”고 말했다.

듀라소닉 기술력은 R&D에 적극 투자하면서 눈에 띄게 향상되고 있다. 이 대표는 듀라소닉은 “Sound Pressure Auto Scanner, Impendance Analyzer, Mocroscope 등 세정 관련 연구 장비를 보유한 기술연구소에 연매출 10%를 재투자하는 등 끊임없이 기술 향상에 힘쓰고 있다”고 말했다. 독자적인 기술개발 외에도 해외 우수 인력을 초빙해 해외 최신 기술 동향 파악과 습득에도 만전을 기하고 있다. 이 대표는 “듀라소닉 기술연구소는 스위스，일본 등 선진시장에서 경험을 쌓은 베테랑 기술고문을 영입하고 있으며, 이들로부터 최신 기술변화를 빠르게 체득해 제품화에 임하고 있다”고 설명했다.

듀라소닉은 판매된 제품의 사후관리에도 만전을 기하고 있다. 이 대표는 “국내 고객에 대해서는 지역과 상관없이 24시간내 현장 방문을 통한 A/S에 나서고 있으며, 아시아 지역의 경우도 48시간 안에 산업 현장으로 초음파, 기계 및 배관, 시스템, PLC 분야 직원을 직접 파견해, 사후 관리에 나서 기업들로부터 큰 호응을 얻고 있다”고 소개했다. 이희명 대표는 “듀라소닉은 시장의 변화를 놓치지 않고 줄기찬 혁신을 통한 경쟁력 확보에 최선을 다하고 있다”면서, “앞으로도 해외 전시회와 인터넷을 통한 소비자와의 지속적인 소통을 통해 보다 나은 제품을 생산해 공급할 수 있도록 최선을 다 할 것”이라고 말했다.

SOLAR TODAY 하 상 범 기자 (st@infothe.com)

SolarToday 다른기사 보기