알프시텍(Alpsitec)의 CMP 장비는 300mm 웨이퍼용이 주력 제품이며, R&D 센터 및 대학에 주로 공급된다. 이 회사 장비의 모든 모델들은 프로세스와 웨이퍼 사이즈를 10분 이내로 변경, 처리할 수 있다는 특징을 지닌다. 이러한 이유로 인해 E550 모델은 ST를 비롯해 유럽의 다수 R&D 연구소용으로 공급되고 있다.

최근 MEM 팹에서 인기를 끌고 있는 이 회사의 평탄화 기술은 특히 0.25um 이하의 기술에서 필수적인 요소이다. MEMS는 새로운 소재를 사용하게 되므로 슬러리와 패드 등을 갈아주어야 하는데 완벽한 솔루션은 아니더라도 그 중요성이 점점 커지는 추세이다.

‘E460’ 모델은 R&D용으로서 수동식 로딩을 가짐으로써 가격 경쟁력이 있으며, 200mm 웨이퍼까지 처리하는 능력을 지닌 ‘E550’ 모델은 카세트간 웨이퍼 이송이 가능한 특징을 지닐 뿐 아니라 습식 로딩도 처리하는 경쟁력을 지닌다. ‘Pcox 200 S’ 모델은 모듈러 방식의 장비로서 수동식 로딩/언로딩이 모두 가능한데 자동 로딩 모듈도 함께 옵션으로 제공된다. 이 회사의 프랑스 내 고객으로는 레티(Leti) 등 연구기관을 비롯해 최근 태양광 분야로까지 비즈니스를 확대하고 있는 SOITE, 그리고 CNRS와 그레노블 지역의 ST 공장 등이다. 아시아에서는 삼성, 페어차일드코리아를 비롯해 중국의 일부 대학에도 장비를 공급하고 있으며, 독일, 캐나다 등에도 고객사를 확보해 안정적인 비즈니스를 진행 중이다.

이 회사의 최근 모델은 인터넷으로 유지보수 서비스가 가능한데 중국과 인도가 주요 시장이다. MEMS 분야로는 스위스를 중심으로 꾸준히 영업, 트레이닝 등 서비스를 제공하고 있으며, 조만간 CMP 클리닝 솔루션 분야에도 새로운 발표를 할 예정이다.

코그넥스 비전시스템의 SI(System Integrator : 시스템 통합업체)로서 글로벌 비즈니스를 강화하고 있는 이 회사는 올해를 기점으로 태양광 분야 영업을 확대할 계획이다. 솔라셀 제조업체의 경우 셀 프린팅의 품질을 비전시스템으로 콘트롤하는 영업을 늘린다는 계획인데, 그레노블 지역의 포토와트(Photowatt)와 이미 파트너십이 되어 있으며, 최근에는 지멘스의 솔라 부서도 고객으로 영입했다.

 

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