장비에 적용된 라만기술은 측정대상의 분자구조에 따른 입사광의 파장과 다른 산란광을 분석하는 첨단기술이다. 예를 들어 같은 실리콘이라 할지라도 단결정, 다결정, 아모르파스 등은 각각의 스펙트럼에 차이가 있다. 라만기술을 이용하면 같은 실리콘 피크에서도 형태와 위치에 따라 결정의 농도와 결정성, 뒤틀림 등을 상세하게 분석할 수 있다.
스펙트럼 강도 분석에 의해 유리, COC 수지판, 봉지재 각 층의 분석이 가능하며, 주요 구성품인 프로브 라만을 이용해 레이저 변위계에서 미리 프로브 Z 위치를 검치해 오토포커스 방식으로 검사를 진행한다. 오토포커스는 적정한 거리를 산출하게 되며, 레이저 변위계의 검출결과를 사용해 시험을 진행하게 된다.
라만분광검사장치는 써모기술을 채용해 표준조건에서 배선한 모듈의 발열 등의 이상을 확인할 수 있으며, EL 기술로 모듈의 이상도 검사할 수 있다.
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