[포토] 네프코, 반도체 직접회로 패턴 형상에 사용되는 포토 마스트 선봬
  • 전시현 기자
  • 승인 2018.04.24 21:03
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네프코(대표 박중철)는 2018 국제 모션컨트롤 및 머신비전 산업전에서 포토 마스크를 선뵀다. 네프코의 포토 마스크(크롬 마스크)는 반도체 직접회로 구조의 패턴 형상을 크롬이 도포된 석영유리 또는 소다라임 등에 형성한 것으로 가시광선, 자외선, X선 등을 이용한 노광 장비에 사용된다. 또 레지스트의 미세한 상을 표현한능 능력, 일반적으로 라인 앤 스페이스 상을 형성할 수 있는 최소의 선 또는 공간의 폭을 나타내는 능력이 우수하다.

[인더스트리뉴스 전시현 기자] 네프코(대표 박중철)는 2018 국제 모션컨트롤 및 머신비전 산업전에서 포토 마스크를 선뵀다. 네프코의 포토 마스크(크롬 마스크)는 반도체 직접회로 구조의 패턴 형상을 크롬이 도포된 석영유리 또는 소다라임 등에 형성한 것으로 가시광선, 자외선, X선 등을 이용한 노광 장비에 사용된다. 또 레지스트의 미세한 상을 표현한능 능력, 일반적으로 라인 앤 스페이스 상을 형성할 수 있는 최소의 선 또는 공간의 폭을 나타내는 능력이 우수하다.



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