기계 공학, 천문학, 반도체 제조, 재료 연구 등에 응용 가능
[인더스트리뉴스 전시현 기자] 정밀포지셔닝 제조업체인 독일 피아이가 전압 공급 없이 위치를 유지할 수 있는 피에조 액추에이터 PIRest를 출시했다.
기존의 피에조 심에 안정성 더해
기존의 피에조 심은 변위가 필요할 때, 액추에이터의 전압이 항시 유지되어야 하며 그로 인해 장비의 수명이 단축되고 안정적인 전원 공급이 필요했다. 하지만 PIRest 기술은 오프셋 전압이 없더라도 조정 후 나노미터 정확도로 안정적인 변위를 유지한다.
또한, 간단한 리모트 조정으로 접근성이 어려운 곳이나 하중/온도/치수 변화로 재조정이 필요할 때 유연하게 대처할 수 있다. 이 외 나노미터 분해능과 마이크로미터 변위, 장기적 위치 안정성, 높은 신뢰성과 긴 수명, 초기 설치 시 비용 절감, 맞춤제작 등 특장점을 갖고 있다.
하이브리드 액추에이터로 인한 유연성
하이브리드 액추에이터는 클래식한 PICMA® 및 PIRest로 구성된다. PIRest는 위치를 지속적으로 교정할 수도 있고 클래식 액추에이터를 통해 다이내믹 모션을 구현하기 위한 기초로서의 역할도 한다. 따라서 수십 Hz 내 진동 보정, 측정 또는 스캐닝 과정에서 초점면 재조정, 재료 프로세싱에서 레이저 빔을 제어하는 데 유용하다.
최대 6축 조정
PIRest 기술은 개별 액추에이터를 정교하게 배치해 단일 디자인에 다축 액추에이터로 6축 평행 운동을 할 수 있다.
주변 환경 또는 결과 값이 변경되어 재조정이 필요하거나 접근성이 좋지 않아 수동 조작이 복잡할 때 유용하다. 또, 수 나노미터 이내의 높은 분해능을 갖추고 있어 기계 공학, 천문학, 반도체 제조, 재료 연구 등에 응용할 수 있다.
