어드밴텍의 ADAM-3114-T 모듈 및 APAX 시리즈

웨이퍼 생산 데이터 수집의 샘플링 속도 향상

더 작은 소형 장비를 제작하기 위해 웨이퍼 공급 업체들은 높은 수율 및 단순화 과정을 지속적으로 개발해 품질을 향상시켜야 했다. 고급 공정 제어시스템(APC)은 경쟁력 있는 비용으로 우수한 제품을 생산하기 위해 여러 해 동안 사용됐다. APC 기술은 계측 애플리케이션에 의존하기 때문에 결과적으로 정확한 데이터 수집이 가장 중요하다. 또한 장비 문제 발생시 자동 감지 및 중단, 경보 등의 고장 검출 및 분류시스템(FDC)을 채택하기 위해 웨이퍼의 제조에는 많은 반복적인 프로세스가 필요하다.

웨이퍼 제조업체들은 느린 샘플링 속도로 인해 발생하는 그린딩 과정상의 문제로 인해 웨이퍼 연마 기계에 대한 향상된 솔루션을 찾고 있었다. 보증 기간 내 기계를 교체하는 것은 필수적이었다. 또한 외부장치와의 연결은 기존 라인을 손상시키지 않고 그린딩 헤드모터의 AC 전류를 측정할 수 있는 유일한 솔루션이다. 그린딩 헤드 동작 제어는 일반 닫기(NC)의 디지털 출력 신호를 보내기 위해 필요했다.

다양한 I/O 모듈을 사용하면서 어드밴텍은 샘플링 웨이퍼 생산 데이터 수집의 빠른 속도뿐만 아니라, 제조 기계의 성능을 향상시키는 최적의 솔루션을 제공했다.

어드밴텍의 ADAM-3114-T 모듈과 APAX(APAX-5017, APAX-5070, APAX-5045)는 시리얼 제품(최대 3samples/sec)의 샘플링 주파수를 향상시키기 위해 제어 캐비닛에 설치됐다. 또한 AC 신호가 약하면 센서로부터 전류신호를 증폭시키는 절연 AC 전류입력 신호 상태와 커스터마이징된 ADAM-3114T 제품에 제공하고 그 데이터를 APAX-5017에 전송한다.

한편, APAX-5070 Modbus/TCP 통신 커플러는 관리자가 시스템의 운영 상태를 확인할 수 있도록 인트라넷을 통해 서버에 그린딩 헤드코터 데이터를 전송한다. 만약 무슨 문제가 발생한다면 사용자는 디지털 출력을 통해 그린딩 모터 컨트롤의 담당 APAX-5045 디지털 입/출력 모듈를 이용해 컴퓨터 전원을 끌 수 있다.

어드밴텍은 또한 시스템 업그레이드가 필요한 고객을 위해 다른 옵션을 제공한다. 예를 들어, 동일한 포트폴리오에 따라, 사용자는 더 많은 채널 샘플링 속도를 초당 20샘플 또는 그 이상으로 증가시킬 수 있으며 추가할 수도 있다.