라이모션 시스템스, 나노급 모션 제어 솔루션 공급 앞장서
  • 최종윤 기자
  • 승인 2022.04.28 14:00
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허태양 대표, “Piezo LEGS Driven Stage, 2nm급 정밀도 구현”

[인더스트리뉴스 최종윤 기자] 전기차, 반도체 시장 선점을 위한 글로벌 경쟁이 치열해 지면서, 정밀 모션 컨트롤이 중요한 요소로 자리 잡고 있다. 모션컨트롤은 로봇, 기계, 컨베이어 등 각 솔루션들의 위치와 속도를 섬세하고 정확하게 제어하기 위한 필수 기술로 PLC 혹은 PC에서 연산을 하고 연산이 끝난 신호가 서보드라이버로, 서보드라이버에 연결된 모터가 현장에 맞는 모션을 구현하는 방식으로 구성된다. 초기에는 구조, 기능 및 기술의 한계로 제약이 적지 않았지만 최근 속도 및 제어적인 면만 보더라도 과거와는 비견될 수 없는 괄목할 수준을 보여준다.

라이모션시스템스 허태양 대표는 “라이모션은 피에조 스테이지, 피에조모터 스테이지, 리니어 및 에어베어링, 진공과 극저온 스테이지 등을 선보이고 있다”고 밝혔다. [사진=인더스트리뉴스]

지난 2019년 설립한 라이모션 시스템스(limotion systems)가 반도체 장비 시장에 나노급 정밀 모션 시스템을 제공하며 빠르게 성장하고 있다. 라이모션 시스템스 허태양 대표를 만나봤다.

회사소개 부탁한다.

라이모션 시스템스는 지난 2019년 설립됐다. 라이모션은 라이트와 모션의 합성어다. 라이트는 레이저(Laser)를 통칭한다. 레이저와 스테이지를 함께 사용하는 애플리케이션 시장에 들어가겠다는 의미로 지었다. 독일, 스웨덴, 벨기에, 이탈리아, 네덜란드 등 고정밀 스테이지 대응이 가능한 유럽의 6개사와 협력관계로 일하고 있다.

주력 제품을 소개한다면?

피에조 스테이지, 피에조모터 스테이지, 리니어 및 에어베어링, 진공과 극저온 스테이지 등을 선보이고 있다. 최근에는 스웨덴 PRECIBEO사의 Piezo LEGS Driven Stage를 집중적으로 시장에 소개하고 있다. 500um 변위 대응 한계에 봉착한 기존 피에조 스테이지 방식을 극복할 수 있다. 마이크로를 넘어 나노미터 이하까지 위치제어가 가능하다.

스텝사이즈를 나노미터로 제어할 수 있기 때문에 부드러운 동작 수행이 가능하며, 백래쉬가 없고 자기장에 영향을 받지 않기 때문에 다양한 애플리케이션에 적용할 수 있다. 긴 변위에 고강성까지 잡았다. 무엇보다 가성비가 굉장히 좋다. 그동안에는 너무 고가의 제품이라 산업에서 사용할 수가 없었다. 알면서도 쓰질 못한 것이다.

라이모션의 고정밀 피에조 모터 스테이지, GO-LLS4545 [사진=라이모션]

하지만 원천기술력을 확보한 스웨덴 PRECIBEO사는 그간 시장에 형성된 가격의 절반 정도로 출시했다. 현재 LED나 OLED, 마이크로 LCD 관련 애플리케이션에서 주로 사용되고 있으며, 도입 검토를 하는 기업이 늘고 있다. 구체적으로 Z축으로 사용시 무게 500g에 2nm의 정밀도를 구현할 수 있다.

아울러 고진공 환경에서의 모션제어를 위해 Phytront사의 고진공 모터를 적용해 Out-gassing 문제를 최소화된 다양한 정밀스테이지 및 시스템을 공급하고 있다. 대표적인 ‘XYZ_FlatRail eXtreme System’은 10~12mbar의 극한 환경에서도 사용가능한 정밀 모션 시스템 설계 및 제어기술을 바탕으로 고정밀 엔코더를 통합해 반복정밀도 50nm 실현이 가능하다. 또한 라이모션은 고객의 다양한 요구에 맞는 커스텀 진공 솔루션을 제공하고 있다.

‘LAB MOTION SYSTEMS’와는 고정밀 에어베어링, 리니어 및 로테이션 스테이지를 선보이고 있다. 커스터마이징을 했을 때 가격 대비 성능이 굉장히 우수하다. 국내에서는 반도체, 리페어 설비 분야 등에서 많은 컨택이 이뤄지고 있다.

고정밀 스테이지 시장을 전망한다면?

반도체 및 모든 부품의 집적화에 의해 더욱 고정밀 스테이지가 시장에서 차지하는 비중이 점점 더 늘어가고 있다. 그럼에도 국내에는 관련 분야 지식이 많이 부족한 상황이다. 반도체 전 공정의 경우 국내에서는 접근이 어려웠고, 유럽 쪽 기업들이 대응할 수 있었다.

하지만 현재는 라이모션에서도 대응이 가능하다. 최근에는 EUV(extreme ultraviolet lithography) 분야에서 국내 최초로 다축을 진행하기도 했다. 반도체는 갈수록 작아지고 있다. 더욱 정밀한 스테이지가 필수적이 되면서 시장은 지속적으로 성장할 것으로 전망한다.

라이모션의 HV & UHV 고진공 스테이지, XYZ_FlatRail eXtreme System [사진=라이모션]

2022년 라이모션의 비전 및 목표는?

매출 성장을 1차 목표로 시장과 함께 성장하고 싶다. 고성능에 가성비 좋은 제품들을 시장에 많이 알리고 싶다. 현장에서는 여전히 몰라서 적용을 못하고 있는 경우도 많다. 한국시장에서 만큼은 라이모션이 유튜브처럼 하나의 채널이 됐으면 하는 바람이다. 고객사에 딱 적합한 제품을 적재적소에 공급하고 싶다. 단순히 많이 팔아보자는 생각보다 지속적인 비즈니스를 계속 이어 나가는 게 목표다.

현재 협력사와도 더욱 신뢰관계를 높여 고객사 커스터마이징을 위해 노력할 것이다. 실제로 고객이 원했던 엑추레이터를 직접 만들어 공급했던 적도 있다. 아울러 더 많은 좋은 제품들을 시장에 소개하기 위해 협력사를 늘려 나갈 것이다.

 

 



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