에스엔텍, 박막 태양전지 제조용 인라인 스퍼터링 장비

뛰어난 안정성과 경제성, 생산성 검증, 양산에 최적화

하 상 범 기자

에스엔텍의 박막 태양전지 제조용 인라인 스퍼터링 장비는 대면적 박막 태양전지(Large Scale Thin Film Solar Cell) 제조용으로 적합한 생산장비다. 고효율 대면적 태양전지 제조에 있어 광흡수층과 투명전극, 후면전극 등을 증착하는 공정에 사용되는 이 장비는 최적화된 장비 운용 및 공정 솔루션을 제공한다.

에스엔텍 관계자는 “당사는 최근 박막 태양전지 제조용 인라인 스퍼터링 장비(Thin Film In-Line Sputtering System)를 선보였으며, 이를 최근 개최된 2013 세계 태양에너지 엑스포에서 소개했다”고 설명했다.

250℃의 고온공정이 가능하며, 최적 시뮬레이션을 통한 타깃 사용효율 극대화가 가능하다. Low Particle 공정으로 높은 신뢰성과 안정성을 제공하며, 쉬운 조작성 및 85% 이상의 높은 가동율과 우수한 증착율을 자랑한다. 뿐만 아니라 PC를 기반으로 한 PLC를 사용하고 있어 전공정 자동 제어 구현도 가능하다. 자체 제작한 5.5세대 대면적 파일럿 인라인 스퍼터 장비를 이용해 박막 태양전지 제작을 위한 충분한 공정 노하우를 개발, 보유하고 있으며, 심플한 시스템 구성으로 운영의 용이성을 확보하고 있다.

에스엔텍은 터치스크린 패널 제조장비, 박막 태양전지 제조장비, LED 칩 제조장비를 제작하고 있다. 태양전지용, 터치스크린 패널용 인라인 스퍼터링 장비 및 LED용 핵심공정 장비를 제작, 납품하고 있으며, 미래 유연소자분야의 핵심 장비 및 공정 개발에도 박차를 가하고 있다. 에스엔텍의 인라인 스퍼터링 장비는 박막 태양전지, 터치스크린 패널, 디스플레이 공정에 중요하게 쓰이고 있다. 투명한 전극 물질 및 금속 재료, 실리콘, 카드뮴, CIG계 재료 등 광범위한 물질을 증착하며, 불투과성 레이어 및 버퍼, 흡수 레이어를 증착하는데 이상적으로 사용할 수 있다.