[Industry News 최홍식 기자] 엔엑스티코리아는 1991년 독일에서 설립된 NXT의 한국 지사다. 엔엑스티(NXT)는 스펙트로미터(분광고도계 : Spectrometer) 전문회사로 Solar Cell, OLED, Optical Media, 평판디스플레이, 정밀광학, 자동차유리, 소비재 포장 및 그 밖의 박막 응용제품 제조분야에 나노 스케일 단위의 두께 측정 솔루션을 제공한다.

엔엑스티코리아 강민석 대표 [사진=엔엑스티코리아]

About ‘Nxt Korea’
엔엑스티의 광간섭 기술을 이용한 측정장비로 박막두께, 굴절률, 투과율, 광학상수 n&k, 텍스처, 색상을 측정할 수 있으며 시간 및 비용에 있어서 효율적이면서 비파괴적인 완벽한 품질 보증 솔루션을 제공한다. 독일의 장인정신을 바탕으로 생산한 고품질의 측정 장비 공급을 통해 고객의 기대치를 충족시키고 언제나 신뢰할 수 파트너가 될 수 있도록 최선의 노력을 다하고 있다.

Product
태양광분야 측정 솔루션인 헬리오스(HELIOS) 시리즈는 태양전지 생산을 위한 웨이퍼 제조공정과 웨이퍼를 제조하기 위한 잉곳 성장 공정에서 품질보증을 위해 반드시 필요한 광학측정 솔루션을 제공한다. ETA-SiCAM은 잉곳제조공정에서 실시간 실리콘 용융액과 Heat 처Shield 사이의 거리를 측정하는 역할을 하며, 헬리오스 LAB-RC는 웨이퍼 레이어(Wafer Layer)의 색상과 반사율, 두께를 측정한다.

헬리오스 INLINE-TN은 웨이퍼 생산 공정에서 코팅의 전수검사를 통한 품질관리를 담당하며, 헬리오스 SCAN-TN/LAB-TN은 웨이퍼 레이어의 두께와 굴절률, 광학상수 n&k를 측정하고 파악한다. 그 밖에 헬리오스 LITE-/LAB-/SCAN-TEX는 웨이퍼 레이어의 텍스쳐를 측정한다. 

엔엑스티에서 공급하고 있는 헬리오스 LAB-TN 장치 [사진=엔엑스티코리아]

View Point
엔엑스티코리아 강민석 대표는 “잉곳 성장 공정에서 실리콘용융물과 크리스탈 풀러(Crystal Puller)의 Heat Shield 사이 거리 측정기능을 확보하고 있다”며, “제조공정에서 진행되는 빠른 박막 코팅 두께 측정을 통한 전수 검사 및 동향분석 기능 등은 엔엑스티의 핵심기술인 인라인(Inline) 설치 사례 동영상을 통해 확인할 수 있다”고 밝혔다.

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