KCMC, 공정 장비의 핵심 부품인 ‘원통형 케소드’
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  • 승인 2013.05.17 15:44
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그 이유는 기존의 평판형 모양보다 타깃 재료 사용 효율이 3배 이상 늘어날 수 있으며, 기존 평판형 모양에서 가지는 해결하기 어려운 공정적인 부분인 스퍼트 상의 재증착, 아크(Arc) 등의 심각한 문제가 있어 원통형 케소드의 안정성이 기존 평판 케소드보다 월등히 뛰어난 특성을 보여주고 있기 때문이다.

 

KCMC는 2010년 설립 이후 원통형 케소드 분야에서 전 세계적으로 가장 뛰어난 기술을 보유 중인 미국 SCI(Sputtering Com ponents)와의 긴밀한 협조를 통해서 원통형 타입 케소드의 확대 및 적용에 꾸준히 노력하고 있다.

 

현재 적용되고 있는 원통형 타입 케소드는 타깃 길이가 4m까지 지원되며, 타깃 물질의 사용 효율이 70~90% 이상을 보이는 메그넷 바(Magnet Bar)를 적용할 수 있다. 또한 메그넷 바의 표면 가우스(Gauss)가 500G 또는 1000G 이상의 타입이 있다. 이러한 다양한 종류의 사양은 어떠한 분야의 스퍼트 공정에도 적절히 대응할 수 있는 기술적 사양을 보여주고 있다.

 

 

 

 

 

 

 

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