어플라이드머티어리얼즈, 고효율 셀 제조 위한 솔리온 XP 이온 주입 시스템

저비용·고효율 셀 제조 가능한 첨단 공정제어 장비

하 상 범 기자

최근 제조업체들은 셀 효율성 및 모듈 전원 출력을 향상시키면서, 전반적인 와트당 비용에서의 경쟁 우위 달성을 기존에 사용하던 P-type 태양전지 셀을 N-type으로 전환하고 있다. N-type 셀의 대량 생산에는 정밀 패터닝을 비롯해 고품질 붕소를 도핑해 공정 단계를 제거하고 제조를 단순화하는 등의 최첨단 기술이 필수적으로 요구된다.

솔리온 XP 이온 주입 시스템의 인시츄 패터닝 기술은 최첨단 구조 셀 N-type 기판에 주입하는 불순물의 깊이와 양, 인과 붕소의 위치를 정밀하게 제어해 고효율 활성화와 낮은 열처리량을 실현한다.

어플라이드머티어리얼즈의 솔리온 XP 이온 주입 시스템은 고유의 정밀한 스캐닝 구조와 확장성 있는 설계로 가동시간과 정밀성을 높여 시간당 3,000개 이상의 웨이퍼를 처리할 수 있어 웨이퍼당 소요되는 비용을 큰 폭으로 감소시킨다.

솔리온 XP 이온 주입 시스템의 구조적 장점은 2차원 정밀 패터닝 및 N-type 셀 공정의 높은 생산성과 확장성을 가능케 해준다는 점이다. 솔리온 XP 이온 주입 시스템이 수행하는 인시츄 패턴 도핑은 수율을 감소시키는 여러 공정을 제거해 이례적으로 높은 수율과 비용 절감을 실현시킨다. 이를 통해 고효율 결정질 실리콘 셀 양산을 가능하게 한다.

다양한 전문기술 적용으로 고품질 생산제조 시스템 구현

강화된 패터닝 기능 및 향상된 시스템 처리량과 더불어 폐루프 제어 기능이 적용된 솔리온 XP 이온 주입 시스템의 다중 패스 수직 스캐닝 구조는 향상된 비닝과 수율을 위한 웨이퍼 간 반복성을 실현한다.

30년 이상 동안 검증받아온 어플라이드머티어리얼즈의 주입 전문성이 반영된 이 고유 기술은 고품질 생산제조 과제를 해결할 수 있다. 지난 2011년 출시한 솔리온 플랫폼은 수백만개의 셀을 처리하기 위한 전체 생산공정에 사용되는 20개 이상의 시스템과 함께 전 세계를 선도하는 태양전지 셀 및 모듈 제조업체들 사이에서 호평을 얻고 있다.

솔리온 XP 이온 주입 시스템은 제조업체가 고품질, 고효율 태양전지 모듈을 제조할 수 있도록 돕는 비용효율적인 솔루션이다.

글로벌 선도기업에 제공하는 안정적인 서비스

미국 실리콘 밸리에 본사를 둔 어플라이드머티어리얼즈는 최첨단 반도체, 평판 디스플레이, 태양전지 등의 제조를 위한 혁신 장비, 서비스 및 소프트웨어를 제공하는 기업이다. 어플라이드머티어리얼즈의 기술은 스마트폰, 평면 스크린 TV, 태양광 패널과 같은 첨단 제품의 가격 경쟁력 및 접근성을 높이는 데 적용되며, 전 세계 기업과 소비자들에게 혜택을 주고 있다.

어플라이드머티어리얼즈의 한국 법인인 어플라이드머티어리얼즈코리아도 최첨단 기술을 제공하고 글로벌 선진 사례를 공유하면서, 한국 IT 산업의 발전에 기여해 왔다. 1989년 반도체 분야를 시작으로 1994년부터는 평판 디스플레이 분야, 2008년부터 태양전지 분야로 사업을 확장해 왔다. 경기도 분당에 위치한 어플라이드머티어리얼즈코리아에는 현재 약 640명의 임직원이 근무하고 있으며, 사업장 및 창고를 포함해 9개소의 국내 네트워크가 운영되고 있다.

SOLAR TODAY 하 상 범 기자 (st@infothe.com)

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