어플라이드머티어리얼즈, 태양전지 웨이퍼 검사 시스템 공개

이 민 선 기자

어플라이드 베리셀 검사 시스템(Applied Vericell Solar Wafer Inspection System)은 100% 자동화로 수동 검사의 품질관리 한계를 해결했으며, PL(Photoluminescence) 기술로 웨이퍼 전지의 효율을 자동으로 예측할 수 있다. 또한, 품질 및 수율을 충족시키는 웨이퍼 공정을 통해 높은 수익성을 제공하는 것이 특징이다.

이 제품은 다중인식기능 및 최첨단 소프트웨어 알고리즘과 결합된 PL 기술을 사용해 베어 웨이퍼로부터 다결정 실리콘 웨이퍼에 대한 평균 예측치의 오차를 0.15% 미만으로 전지의 효율을 예측할 수 있다. 또한, 저효율 웨이퍼를 제거하고 공정 변경 요구를 확인함으로써 고효율 전지의 생산을 전반적으로 개선시킬 수 있으며, 기존 생산라인과 쉽게 통합할 수 있다.

베리셀 시스템의 통합된 다중인식모듈은 생산공정에서 결함이 있는 웨이퍼를 찾아 이를 제거하기 위해 자동으로 평가한다. 웨이퍼의 두께, 변화, 경사와 저항력 등과 같은 변수에 대해 측정하며 웨이퍼의 톱니 자국(Saw Marks), 깨진 가장자리, 얼룩, 미세 균열과 같은 결함을 탐지해 품질을 제어하고 비용을 최소화함으로써 제품 생산에 큰 이익을 제공한다.

이 시스템은 실시간으로 데이터를 수집, 통합 및 분석하기 위해 사용되는 어플라이드머티어리얼즈의 수율 관리 소프트웨어와 함께 사용 가능하다. 이 소프트웨어는 전체 생산 라인을 신속하게 파악하고 수율에 영향을 미치는 과정을 최적화시킨다.

어플라이드머티어리얼즈 에너지환경솔루션그룹의 짐 멀린(Jim Mullin) 태양광 제품 부문 부사장은 “이 시스템은 실시간으로 수율을 최적화할 수 있다”며, “고객들은 들어오고 나가는 웨이퍼의 품질을 효율적으로 추적할 수 있고, 수율과 비닝(Binnig)을 개선하기 위해 제조 공정을 조정할 수 있다. PV 산업은 ‘효율 시계’의 속도를 유지하고 최첨단 전지로 전환함으로써 제조 수율을 제어하는 것이 중요한 문제가 됐다. 베리셀 시스템은 여러 고객들에 의해 수율 예측과 제조의 수익성 증가에 대한 가치를 입증받았다”고 덧붙였다.

SOLAR TODAY 이 민 선 기자 (st@infothe.com)

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