피아이가 작은 크기와 나노미터 분해능이 특징이며 피에조 관성 드라이브로 구동되는 고정밀 6축 제어 시스템을 선보였다.
작은 크기와 나노미터 분해능이 특징
[인더스트리뉴스 박규찬 기자] PI(피아이)가 고정밀 6축 제어 시스템인 Q-Motion SpaceFAB을 정식 출시했다고 밝혔다.
![고정밀 6축 제어 시스템 Q-Motion SpaceFAB [사진=PI]](/news/photo/201902/29263_21717_3925.jpg)
이 제품은 작은 크기와 나노미터 분해능이 특징이며 DC 모터나 보이스코일 드라이브로 구동됐던 일반 헥사포드와는 달리 피에조 관성 드라이브로 구동된다.
특정 피에조 액추에이터를 느리게 팽창시키면 러너가 움직이게 되고 빠르게 수축시키면 러너의 움직임 없이 액추에이터만 초기 위치로 복원되는 원리다.
특히 Q-845는 크로스 롤러 베어링을 사용해 더욱 강하고 예하중도 적기 때문에 마찰을 줄이고 매끄럽게 달릴 수 있으며 높은 가이딩 정확도를 보장한다.
또한 최대 20kHz의 피에조 주파수 구동에 의해 5mm/s 이상의 속도를 낼 수 있다. 한편 Q-Motion SpaceFAB의 적용분야는 측정기술, 현미경, 생명공학, 자동화 산업 등이며 10-6 hPa의 진공 환경에서도 사용이 가능하다.
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