[인더스트리뉴스 정형우 기자] 긴 모션 범위에서 고분해능 구현 및 모션 에러를 최소화하기 위해서는 고성능 측정 시스템이 반드시 필요하다.

정전용량 센서는 나노미터 이하의 분해능과 매우 높은 안정성 및 신뢰성을 구현하지만 모션 범위가 1mm 이상일 때 센서 영역의 크기가 커져 넓은 설치 공간이 필요하고 분해능 및 신뢰성이 감소하기 때문에 일반적으로 엔코더를 사용한다.

그러나 엔코더 등의 일반적인 센서는 1nm 이상의 분해능 구현이 불가능하거나 있더라도 상대적으로 높은 전력이 요구된다. 따라서 피아이는 최대 분해능 및 적당한 에너지 소비량을 가진 PIOne 소형 센서를 자체 개발했다.

PIOne 센서는 0.5μm의 작은 신호 주기와 최적화된 신호 처리 덕분에 분해능이 20피코미터 이상이다. 또한, 센서 헤드에 Mach-Zehnder 간섭계가 내장돼 있어 온도 및 습도 등의 환경적 영향을 보상하므로 광 경로가 일정하다.

아울러 PIOne 센서는 모든 PI컨트롤러와 호환되므로 다양한 드라이브 기술이 접목된 포지셔닝 시스템에 적용 가능한 것이 특징이다.

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