SKC, 반도체 핵심소재 ‘블랭크 마스크’ 하이엔드급 올해 안에 국산화 목표
  • 김관모 기자
  • 승인 2020.03.26 11:24
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천안에 반도체 소재 클러스터 조성··· 48% 수준인 반도체 소재 국산화율 제고 기여 노력

[인더스트리뉴스 김관모 기자] SKC(대표이사 이완재)가 반도체 노광공정 핵심소재로 쓰이는 블랭크 마스크 하이엔드급 제품의 국산화 개발을 진행하고 있다고 3월 26일 밝혔다.

SKC 구성원이 반도체 노광공정 핵심소재인 블랭크 마스크의 시제품을 검사하고 있다. [사진=SKC]
SKC 구성원이 반도체 노광공정 핵심소재인 블랭크 마스크의 시제품을 검사하고 있다. [사진=SKC]

SKC는 지난 12월 충남 천안 하이엔드급 블랭크 마스크 공장을 완공하고 고객사 인증용 시제품 생산을 추진하고 있다. 따라서, 고객사 인증을 거쳐 이르면 올해 상업화에 나서는 것이 목표다. 

SKC는 지난해 4월 약 430억원을 투자해 SKC 하이테크앤마케팅 천안공장 내 여유 부지에 공장 건설을 착수해왔다. SKC는 이곳을, 반도체 소재를 생산하는 SKC 반도체 소재 클러스터로 조성할 방침이며, 약 50% 가량인 반도체 소재 국산화율을 높이는 데 기여해나갈 계획이다.

블랭크 마스크는 반도체 웨이퍼에 회로를 새길 때 사용하는 포토 마스크의 원재료다. 쿼츠 위에 금속막과 감광막을 도포해 만든다. 여기에 회로 패턴을 형상화하면 포토 마스크가 된다. 필름으로 치면 촬영 전 필름이 블랭크 마스크, 촬영 후 필름이 포토 마스크다. 포토마스크를 반도체 웨이퍼 위에 놓고 빛을 쏘면 빛이 통과한 부분에 화학반응이 일어나 회로가 된다.

블랭크 마스크 시장은 반도체 제조사가 적극적으로 증설에 나서면서 수요가 늘고 있고, 공정이 미세화되면서 공정별 사용량이 증가하면서 시장이 커지고 있다. SKC의 자체 조사에 따르면 2018년 8,000억원 수준이었던 세계 시장 규모는 매년 7%씩 성장해 2025년 1조3,000억원 수준으로 성장할 전망으로 나타났다.

이 중 95% 가량을 호야와 울코트 등 일본의 글로벌 업체 2개사가 차지하고 있으며, 하이엔드급 시장은 99% 이상 차지하는 것으로 알려져 있다. 특히 블랭크 마스크는 호야가 삼성전자 수요의 60%를 차지하는 것으로 파악되고 있으며, EUV용 블랭크 마스크는 호야가 독점 생산하는 것으로 알려져있다. 

블랭크 마스크는 금속막과 감광막을 나노미터 단위의 얇은 두께로 쿼츠에 도포해야 한다. 하이엔드급은 더 얇고 여러 번 균일하게 도포해야 한다. SKC는 "여기에 필요한 진공증착(sputtering) 기술과 경험을 갖고 있고, 초청정 무진 관리 경험이 있다"고 강조했다.

이에 SKC 관계자는 “수년 간 BM혁신을 추진해온 SKC는 1단계 혁신을 마치고 반도체, 모빌리티, 친환경, 디스플레이 사업을 중심으로 2단계 BM혁신을 추진하고 있다”면서, “천안에 마련한 SKC 반도체 소재 클러스터를 중심으로 반도체 사업을 고도화하고 국산화율을 높이기 위해 노력하겠다”고 말했다.



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