PI, 높은 이동 정확도 및 안정성을 위한 정밀 ‘XY 스테이지’

[인더스트리뉴스 이건오 기자] 광학 검사, 레이저 컷팅 및 마킹, 산업 측정 기술, 현미경 검사에는 높은 정확도, 안정성, 처리량을 위한 빠른 포지셔닝 시스템이 필요하다.

피아이(PI)는 많은 애플리케이션에 정밀 솔루션을 제공하기 위해 다양한 옵션의 XY 스테이지를 개발했다. 소형 포지셔닝 시스템의 이동 범위는 X, Y 방향으로 100~300mm이며, 최대 500mm/s 속도, 0.05μm의 단방향 반복도를 갖는다.

통합된 고분해능 리니어 인코더는 플랫폼에서 위치를 직접 측정한다. 평면 설계는 적층 오차를 최소화하고 강성을 높인다. 위나 아래에서 샘플 또는 작업물에 접근할 수 있도록 중앙에 큰 애퍼처가 있는 버전도 제공된다.

XY 스테이지 시리즈에는 리니어 모터 다이렉트 드라이브(V-731, V-738, V-741)와 스테퍼 및 DC모터(L-731, L-738, L-741)가 있다. 3상 마그네틱 리니어 모터는 구동 트레인에 기계 부품이 필요하지 않으며 마찰 없이 직접 구동 플랫폼으로 구동력을 전달한다.

따라서 최대 500mm/s 속도가 가능하다. 아이언리스모터는 영구 자석 사이의 코깅 현상이 없기 때문에 높은 정밀도를 요하는 포지셔닝에 적합하다. 또한, 가장 낮은 속도에서도 부드러운 주행을 가능하게 하며 높은 속도에서 진동이 발생하지 않는다.

L-731, L-738, L-741 XY스테이지는 스테퍼 또는 DC모터를 사용해 최대 90mm/s의 속도로 작동하며 정밀 볼 스크루를 구동할 수 있다. 또한 2상 스테퍼 모터는 낮은 속도에서 높은 토크를 발생시킨다. 부드러운 주행과 높은 속도가 필요한 애플리케이션에서는 DC모터를 권장하고 있다.